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FUNCTION 564  行 程： X軸 500mm Y軸 600mm Z軸 400 mm  結構型式：活動橋式  傳動方式：直流伺服系統(tǒng) + 預載荷高精度空氣軸承  長度測量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.5μm  機 臺：高精度花崗巖平臺  使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度55%-65% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h  空氣壓力：0.4 MPa - 0.5 Mpa  空氣流量：120 L/min – 140 L/min  整機尺寸(LWH)：1.67 m X 1.05m X 2.24m  機臺承重：600 kg ，整機重量：850 Kg 空間測量精度：（2.8+L/300）μm